光刻机核心光源技术正迎来一场革命，中国自主研发的自由电子激光路径，不仅绕开了西方二十年技术壁垒，更解决了困扰全球半导体行业多年的锡污染难题。

激光 垄断 光源 euv euv光源 2025-10-08 07:21  6